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德國(guó)Camtec半導(dǎo)體制程專用電源全系型號(hào)技術(shù)參數(shù)及行業(yè)應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間： 2026-06-18　　點(diǎn)擊次數(shù)： 293次

德國(guó)Camtec半導(dǎo)體制程專用電源全系型號(hào)技術(shù)參數(shù)及行業(yè)應(yīng)用

摘要：德國(guó)Camtec深耕工業(yè)高精度開關(guān)電源研發(fā)制造，全系產(chǎn)品德國(guó)本土組裝生產(chǎn)，取得TüV核驗(yàn)、ISO9001:2015、CE、RoHS、REACH全套合規(guī)資質(zhì)，針對(duì)性研發(fā)半導(dǎo)體潔凈制程、真空工藝、晶圓檢測(cè)專用電源模組。產(chǎn)品適配半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積、真空鍍膜、晶圓分選、理化測(cè)控、無(wú)塵腔體配套供電場(chǎng)景，具備低紋波、抗電磁干擾、寬溫運(yùn)行、冗余擴(kuò)容、可編程調(diào)壓特性。本文整理品牌四大半導(dǎo)體專用系列多款量產(chǎn)型號(hào)參數(shù)、電氣指標(biāo)、結(jié)構(gòu)適配性，客觀公示原廠實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)，方便半導(dǎo)體、化工真空制程、精密儀器行業(yè)選型參考，全文無(wú)功效承諾、無(wú)競(jìng)品對(duì)比、無(wú)極限類宣傳詞匯。

關(guān)鍵詞：Camtec半導(dǎo)體電源；可編程直流電源；無(wú)塵制程供電；真空設(shè)備電源；DIN導(dǎo)軌式半導(dǎo)體電源；冗余穩(wěn)壓電源

一、半導(dǎo)體行業(yè)供電工況適配說(shuō)明

半導(dǎo)體全制程設(shè)備對(duì)配套供電系統(tǒng)有固定工況要求：無(wú)塵車間低電磁輻射、真空腔體高低溫交變耐受、電壓電流高精度可調(diào)、浪涌抑制能力達(dá)標(biāo)、可冗余并聯(lián)擴(kuò)容、適配潔凈室ESD防靜電標(biāo)準(zhǔn)、適配24h不間斷啟停作業(yè)。德國(guó)Camtec依托模塊化電路工藝、全密封絕緣殼體、定制降噪電路，劃分輕量化工位供電、大功率制程供電、真空隔離供電、UPS不間斷供電四大產(chǎn)品線，覆蓋半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、中試產(chǎn)線、規(guī)模化量產(chǎn)全場(chǎng)景供電需求，適配ISO1-8級(jí)無(wú)塵車間使用環(huán)境。

二、半導(dǎo)體專用產(chǎn)品線品類劃分

本次整理市面常規(guī)流通、適配半導(dǎo)體及化工真空儀器四大系列，共計(jì)14款常用型號(hào)，區(qū)分安裝形式、功率區(qū)間、防護(hù)等級(jí)，適配不同制程點(diǎn)位供電：

CPS-DIN半導(dǎo)體導(dǎo)軌式AC/DC電源：點(diǎn)位輕量化供電，適配晶圓檢測(cè)臺(tái)、微型真空閥、工位傳感器配套供電，機(jī)柜導(dǎo)軌便捷安裝，適配無(wú)塵機(jī)柜密閉布線
CPS-P可編程機(jī)架式直流電源：制程核心供電，適配磁控濺射、等離子刻蝕、氣相沉積設(shè)備主回路供電，支持后臺(tái)程控調(diào)壓，可多機(jī)并聯(lián)
CVG真空隔離DC/DC電源：超高真空腔體內(nèi)置供電，低析出材質(zhì)機(jī)身，適配10??hPa及以上真空腔體內(nèi)部元器件供電，耐腔體輻照、高低溫交變
CUPS半導(dǎo)體專用DC-UPS不間斷電源：產(chǎn)線斷電穩(wěn)壓備用，適配光刻機(jī)、精密分選儀、理化檢測(cè)儀器斷電保機(jī)，規(guī)避晶圓制程數(shù)據(jù)丟失、工藝報(bào)廢問(wèn)題

三、CPS-DIN導(dǎo)軌式AC/DC電源（半導(dǎo)體工位常用款）

系列共性參數(shù)：?jiǎn)蜗嘟涣鬏斎耄珯C(jī)型自帶浪涌抑制模塊，電磁輻射符合半導(dǎo)體EN61000-6-3車間標(biāo)準(zhǔn)，防護(hù)等級(jí)IP20，DIN標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)軌卡扣安裝，工作溫區(qū)-25℃~+70℃，支持自然風(fēng)冷，無(wú)需外置散熱風(fēng)機(jī)，減少無(wú)塵車間揚(yáng)塵干擾，適配車間長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。

產(chǎn)品型號(hào)	額定功率	輸入電壓范圍	輸出穩(wěn)壓值	輸出紋波噪聲	適配工況點(diǎn)位
CPS120-24DIN	120W	85~264VAC	24VDC	≤35mVpp	晶圓掃碼傳感器、微型真空調(diào)節(jié)閥供電
CPS240-48DIN	240W	85~264VAC	48VDC	≤38mVpp	小型探針臺(tái)、無(wú)塵平移模組步進(jìn)驅(qū)動(dòng)供電
CPS480-24DIN	480W	85~264VAC	24VDC	≤40mVpp	腔體溫控模塊、等離子輔助輔助組件供電
CPS960-48DIN	960W	120~240VAC	48VDC	≤42mVpp	中型晶圓分選機(jī)、真空上料機(jī)構(gòu)成套供電

四、CPS-P可編程機(jī)架式直流電源（半導(dǎo)體制程主力款）

系列共性參數(shù)：19英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架安裝，3U標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)身，支持RS485/Modbus通訊程控調(diào)壓調(diào)流，電壓電流線性可調(diào)，自帶均流并聯(lián)接口，支持冗余組合擴(kuò)容，整機(jī)效率區(qū)間89%~93%，適配半導(dǎo)體24h不間斷制程，具備過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)熱、短路四重自主保護(hù)。

產(chǎn)品型號(hào)	額定功率	輸入制式	輸出可調(diào)區(qū)間	穩(wěn)壓精度	適配核心工藝
CPS480P-060	480W	單相220VAC	0~60VDC	≤±0.15%	實(shí)驗(yàn)室小型等離子清洗工藝供電
CPS1500P-120	1500W	單相220VAC	0~120VDC	≤±0.12%	小型磁控濺射、薄膜預(yù)處理工藝供電
CPS3000P-250	3000W	三相380VAC	0~250VDC	≤±0.10%	干法刻蝕、PECVD氣相沉積設(shè)備主供電
CPS6000P-400	6000W	三相380VAC	0~400VDC	≤±0.08%	規(guī)模化產(chǎn)線離子注入、鍍膜成套供電

五、CVG真空隔離DC/DC電源（超高真空腔體專用款）

系列共性參數(shù)：低析出鋁合金密封機(jī)身，出廠真空烘烤除氣處理，適配10??~10?11hPa超高真空腔體內(nèi)部使用，耐輻照閾值10?J/kg，耐溫區(qū)間-40℃~+160℃，無(wú)有機(jī)揮發(fā)輔料，不污染晶圓腔體工藝環(huán)境，絕緣隔離強(qiáng)度3000VAC，適配腔體電磁隔離供電需求。

產(chǎn)品型號(hào)	額定功率	輸入電壓	固定輸出	適配真空等級(jí)	使用點(diǎn)位
CVG60-24	60W	24VDC	12VDC	10?11hPa	腔體內(nèi)部微型位移電機(jī)、傳感供電
CVG120-48	120W	48VDC	24VDC	10?1?hPa	真空靶材調(diào)節(jié)模組、腔內(nèi)溫控元件供電
CVG240-60	240W	60VDC	48VDC	10??hPa	中型真空工藝腔內(nèi)傳動(dòng)組件成套供電

六、CUPS半導(dǎo)體DC-UPS不間斷備用電源（產(chǎn)線保機(jī)專用）

系列共性參數(shù)：直流無(wú)縫切換穩(wěn)壓，切換延時(shí)＜8ms，適配半導(dǎo)體精密設(shè)備斷電保工藝，支持浮充智能管理，可搭配Camtec原廠充電整流模塊使用，具備故障無(wú)源告警功能，適配無(wú)塵機(jī)房密閉安裝，支持并聯(lián)擴(kuò)容儲(chǔ)能容量。

產(chǎn)品型號(hào)	配套穩(wěn)壓功率	額定輸出電壓	標(biāo)準(zhǔn)保機(jī)時(shí)長(zhǎng)	適配設(shè)備類型
CUPS480-24	480W	24VDC	常規(guī)12min	晶圓檢測(cè)儀器、小型理化真空設(shè)備備用
CUPS960-48	960W	48VDC	常規(guī)15min	光刻機(jī)、精密探針臺(tái)、刻蝕輔機(jī)斷電保機(jī)
CUPS2000-60	2000W	60VDC	常規(guī)20min	中型鍍膜主機(jī)、真空合成制程設(shè)備備用供電

七、全系半導(dǎo)體電源通用選配及合規(guī)資質(zhì)

1、可選配套組件

通訊組件：Modbus/TCP通訊模塊、獨(dú)立隔離信號(hào)采集模塊，適配產(chǎn)線MES系統(tǒng)對(duì)接
擴(kuò)容組件：原廠冗余均流模塊、進(jìn)線浪涌防護(hù)模塊、ESD防靜電進(jìn)線端子
結(jié)構(gòu)配件：無(wú)塵專用密封防塵蓋板、真空專用耐高低溫出線線纜、機(jī)柜減震固定支架

2、全機(jī)型合規(guī)資質(zhì)

環(huán)保資質(zhì)：RoHS、REACH歐盟化工電子用材合規(guī)認(rèn)證，無(wú)受限重金屬、揮發(fā)助劑
電氣資質(zhì)：TüV整機(jī)核驗(yàn)、UL/CSA電氣安全認(rèn)證、EN61000半導(dǎo)體車間電磁兼容認(rèn)證
生產(chǎn)資質(zhì)：工廠ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認(rèn)證，批次出廠全項(xiàng)電性抽檢

八、半導(dǎo)體及化工真空細(xì)分適配場(chǎng)景

晶圓制程：晶圓分選、外觀檢測(cè)、晶圓搬運(yùn)模組、真空吸附機(jī)構(gòu)供電
薄膜工藝：PECVD沉積、磁控濺射、真空蒸鍍、等離子清洗主機(jī)及輔機(jī)供電
刻蝕摻雜：干法刻蝕、離子注入、酸堿濕法工位穩(wěn)壓供電，抗車間電網(wǎng)波動(dòng)
化工真空儀器：半導(dǎo)體配套真空反應(yīng)腔體、高純介質(zhì)合成腔體、理化分析儀器腔內(nèi)供電
實(shí)驗(yàn)室研發(fā)：高校半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室、新材料真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)可編程調(diào)試供電

九、安裝使用通用提示

1、無(wú)塵車間安裝需匹配車間防靜電接地標(biāo)準(zhǔn)，接地電阻≤4Ω，降低靜電干擾晶圓工藝；2、真空內(nèi)置款CVG系列電源，禁止私自拆解密封殼體，避免破壞低析出結(jié)構(gòu)；3、大功率可編程機(jī)型并聯(lián)擴(kuò)容，需使用原廠同型號(hào)均流模塊，保障輸出均衡；4、設(shè)備運(yùn)行環(huán)境粉塵粒徑需符合無(wú)塵車間管控標(biāo)準(zhǔn)，定期清理機(jī)身散熱風(fēng)道；5、所有機(jī)型適配常規(guī)工業(yè)市電，特殊電網(wǎng)工況可加裝前端隔離變壓器。

十、行業(yè)選型小結(jié)

Camtec四大半導(dǎo)體電源系列，從小功率點(diǎn)位供電到大功率制程供電、從外置機(jī)柜供電到真空腔內(nèi)內(nèi)置供電，完成半導(dǎo)體全點(diǎn)位供電覆蓋：無(wú)塵機(jī)柜輕量化供電優(yōu)先選用CPS-DIN導(dǎo)軌系列；刻蝕鍍膜核心工藝選用CPS-P可編程機(jī)架系列；超高真空腔體內(nèi)置供電選用CVG隔離系列；精密設(shè)備斷電保機(jī)選用CUPS不間斷電源系列。品牌支持輸出電壓、接口、殼體防護(hù)等級(jí)非標(biāo)定制，本文所有電氣參數(shù)、工況指標(biāo)均源自Camtec德國(guó)原廠公開手冊(cè)，參數(shù)以批次出廠實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)為準(zhǔn)，僅供行業(yè)選型參考。

德國(guó)Camtec半導(dǎo)體制程專用電源全系型號(hào)技術(shù)參數(shù)及行業(yè)應(yīng)用

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